适用机械种类
高精度镭射焊接机
各种光电、半导体及太阳能产业设备制程中的冷却
高科技产业薄膜制成冷却专用
需求高纯度水质、高阻抗、去阴阳离子水的高科技产业设备专用冷却
特性及功能
特殊PID温度控制器,可使温度保持加减0.5摄氏度,使主机运作稳定
使用高压泵普及回路液压保护系统
使用SUS316板式热交换器大大提升热交换率,既节省电源消耗,并维持水质纯净,不会产生浑浊导致回路阻塞故障
所使用之例子交换树脂专用于半导体业之DI水,可将水质纯度保持至10M以上的绝缘度
规格表